真空泵的作用是產(chǎn)生負(fù)壓，從而增加制動(dòng)力。利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來(lái)講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。機(jī)械式容積真空泵：通過(guò)機(jī)械運(yùn)動(dòng)使泵腔工作容積周期變化實(shí)現(xiàn)抽氣，包括往復(fù)式、旋轉(zhuǎn)式機(jī)械泵（旋片式、螺桿式、羅茨式、液環(huán)式等）。

射流式真空泵：無(wú)機(jī)械運(yùn)動(dòng)部件，靠噴嘴高速射流抽真空，包括水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵及擴(kuò)散泵等。

按性能特點(diǎn)和用途：

低真空泵：極限壓力高于102Pa，如往復(fù)式、旋轉(zhuǎn)式、液環(huán)式、噴射式及吸附式真空泵。

中真空泵：極限壓力在102～10?1Pa，如羅茨真空泵、多級(jí)噴射式、多級(jí)旋轉(zhuǎn)機(jī)械真空泵及高速旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵。

高真空泵：極限壓力在10?1～10??Pa，如擴(kuò)散泵及分子泵。

超高真空泵：極限壓力低于10??Pa，如離子泵、低溫泵。

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